Vývoj nových dutých jednorozměrných nanostruktur

Jednou z metod vytváření jednorozměrných nanostruktur je použití šablony, která je potažena sekundárními materiály metodou ALD a následně odstraněna. Tento přístup umožňuje přípravu jednorozměrných nanostruktur, které nelze získat přirozenou cestou. Cílem projektu je vyvinout duté jednorozměrné nanostrukturované vrstvy vybraných materiálů nanesené metodou ALD s využitím jednorozměrných nanostrukturovaných šablon z Te, které nabízejí několik výhod oproti běžně používaným vzorům. Jelikož k odstranění Te dochází sublimací při teplotě přibližně 300 °C ve vakuu, budeme kromě dobře prozkoumaných oxidů (Al₂O₃ a TiO₂) zkoumat také TiAlC a kovové povlaky (Cu a Ni), které se při vysokých teplotách snadno oxidují na vzduchu. Zvláštní pozornost bude věnována variabilitě teplot nanášení, omezením tloušťky a optimalizaci teplot žíhání pro výrobu samostatně stojících a bez-Te dutých 1D nanostrukturovaných vrstev. Naše vývojové práce na dutých 1D nanostrukturách se stanou praktickým návodem použitelným pro výrobu podobných nanostruktur různých složení na velkých plochách jakéhokoli substrátu, které lze využít v mnoha aplikacích.

Klíčová slova:

duté jednorozměrné nanostrukturované vrstvy; jednorozměrná nanostrukturovaná šablona z teluru; depozice atomových vrstev; oxid hlinitý; oxid titaničitý; karbid; kovy